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產(chǎn)品中心

Product center

Shinkuu噴金儀金靶 ?51×0.1t資料介紹

發(fā)布時間:2025-04-22 點擊量:535

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1. 產(chǎn)品概述

材質(zhì):高純金(Au ≥ 99.99%)
尺寸:?51 mm × 厚度 0.1 mm(可定制其他規(guī)格)
適用設(shè)備:Shinkuu系列噴金儀(兼容多數(shù)磁控濺射鍍膜系統(tǒng))
主要用途:SEM樣品導(dǎo)電鍍層、EBSD分析增強、光學(xué)反射膜制備等。

2. 關(guān)鍵性能參數(shù)

項目技術(shù)指標
純度≥99.99%(4N級,ICP-MS認證)
密度19.32 g/cm3(理論值)
晶粒尺寸≤100 nm(XRD分析)
表面粗糙度 (Ra)≤0.2 μm(AFM測試)
電阻率≤2.2 μΩ·cm(4點探針法)
濺射速率80-120 ?/min(DC 30W, Ar 15sccm)
推薦工作氣壓0.5-3 Pa(高純Ar環(huán)境)

3. 產(chǎn)品優(yōu)勢

? 超高純度:極低雜質(zhì)含量(Fe、Cu等<10ppm),確保鍍膜無污染。
? 超薄設(shè)計:0.1mm厚度優(yōu)化濺射效率,減少熱應(yīng)力導(dǎo)致的靶材變形。
? 均勻成膜:磁控濺射后膜厚偏差≤±5%(旋轉(zhuǎn)樣品臺條件下)。
? 長壽命:典型使用壽命≥6小時(30W DC濺射條件)。
? 兼容性廣:適用于SEM、FIB-SEM、TEM樣品制備及XRF校準。

4. 典型應(yīng)用

(1)SEM樣品導(dǎo)電鍍層

  • 推薦膜厚:5-15 nm

  • 效果:消除荷電效應(yīng),提升二次電子信號3-5倍。

(2)EBSD分析增強

  • 推薦膜厚:3-8 nm

  • 效果:減少背景噪聲,提高衍射信號信噪比。

(3)光學(xué)反射膜

  • 推薦膜厚:50-200 nm

  • 效果:可見光區(qū)反射率≥95%(λ=550 nm)。

5. 操作指南

(1)安裝與存儲

  • 安裝:使用無塵手套操作,確保靶材與陰極接觸良好。

  • 存儲:干燥氮氣柜(RH<30%),避免氧化。

(2)濺射參數(shù)推薦(DC磁控濺射)

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復(fù)制
下載
功率:20-40 W  
濺射時間:30-180 s(視膜厚需求調(diào)整)  
工作氣壓:0.5-2 Pa(高純Ar,99.999%)  
基板溫度:室溫(可選冷卻至-10℃以降低熱影響)  
靶基距:50-80 mm

(3)維護與更換

  • 壽命終點判斷:

    • 濺射速率下降>20%

    • 鍍膜出現(xiàn)明顯不均勻或雜質(zhì)

  • 廢棄處理:按貴金屬廢料回收(不可隨意丟棄)。

6. 質(zhì)量控制與認證

  • 批次檢測報告:提供XRD晶相分析、ICP-MS成分檢測、AFM表面形貌數(shù)據(jù)。

  • 兼容標準:符合ISO 9001、ASTM F76等國際規(guī)范。

7. 注意事項

? 真空要求:本底真空≤5×10?3 Pa,避免殘留氣體污染。
? 避免過熱:連續(xù)濺射時建議間歇冷卻,防止靶材熱裂。
? 安全防護:濺射過程中避免直接觀察等離子體,佩戴防護眼鏡。

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