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TEAC稱重傳感器用于半導體/FPD制造工藝的產(chǎn)品介紹
多晶在石英坩堝中熔化，并在旋轉(zhuǎn)籽晶棒的同時進行拉晶，
以形成單晶棒（使用 CZ 法拉晶錠）。
單晶生長稱重傳感器
能夠測量微小負載的兩級式
抗噪音及過載保護功能
單晶生長稱重傳感器
過載保護
用于拉制大直徑硅片
超高精度
用于拉制大直徑硅片
高精準度
晶圓是通過使用金剛石刀片將錠切割至定厚度而制成的。
標準型
各種保持功能
CC-Link
多功能型
支持 2 個輸入：稱重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
內(nèi)置型
豐富的網(wǎng)絡
（EtherNet/IP?CC-Link?RS-485）
通過PC設置/監(jiān)控
研磨并拋光晶圓表面。
薄型氣密結(jié)構(gòu)、緊湊、輕量、
連接器式
薄型、剪切型、中心孔型
抗偏心/抗疲勞
標準型
各種保持功能
CC-Link
多功能型
支持 2 個輸入：稱重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
晶圓的表面經(jīng)過研磨和拋光，以平整任何不平整的地方。
采用耐彎曲的機器人電纜
通過使用濺射儀
實現(xiàn)高響應和高穩(wěn)定性。
標準型
各種保持功能
CC-Link
多功能型
支持 2 個輸入：稱重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
內(nèi)置型
豐富的網(wǎng)絡
（EtherNet/IP?CC-Link?RS-485）
通過PC設置/監(jiān)控
